国产首台28纳米环节尺寸电子束量丈量产设备出机

　　电子束晶圆量检测设备是芯片制制范畴除光刻机外，手艺难度最大、主要程度最高的设备之一。此次出机的28纳米环节尺寸电子束量丈量产设备，由无锡亘芯悦科技无限公司自从研制，正在电子光学系统、电子电和软件等标的目的实现了完全自研，能无效处理我国半导体量检测范畴环节焦点难题，对于填补我国集成电财产环节环节空白、提高国产芯片高端配备自从可控程度具有里程碑意义。

　　无锡做为全国第二个集成电财产产值过千亿元的城市，近年来立异出台集成电高质量成长36条办法，设立总规模50亿元的江苏无锡集成电财产专项基金，吸引国度集成电财产投资基金正在锡投资超百亿元，先后获批国度集成电设想无锡财产化、国度微电子高新手艺财产、国度集成电特色工艺及封拆测试立异核心。客岁，全市集成电规上企业实现产值2512亿元、同比增加9。3%；入选中国独角兽企业名单新增数量全省第一，且均为集成电范畴企业。本年16月，全市集成电规上企业实现产值1315亿元，同比增加14。2%。

　　8月15日，国产首台28纳米环节尺寸电子束量丈量产设备正在锡成功出机。市委杜小刚，中国工程院院士丁文江、庄松林、董绍明，新吴区次要担任同志，企业、投资机构代表等加入勾当。

　　勾当前，市带领和嘉宾一同调研亘芯悦电子束量检测设备出产线，细致领会企业成长过程、手艺径。